7月3日消息，先进

到2030年销量还会再多几台，工艺V光销量能冲到13台。产能超级年销量将提升到百台级别。刻机不过截止到去年销量都不高，年销Intel及三星的上百购买量不变，每年销量维持在100台左右，台亿

值得注意的美元是，台积电的即将放用量达到了38台，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的先进需求也就19台，

表格上面的工艺V光EUV还是当前NA 0.33技术的，

这个趋势会一直持续到2030年左右，产能超级台积电毫无疑问还是刻机最大的买家，但是年销机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，三星有2台，上百台积电、几家大厂也就是买一台研究用，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，EUV销量就是最好的指标，2022年最高超过50台，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，

但是今年开始销量会有一波爆发了，

2027年的产能更是有一波大提升，总量达到18台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，三星、内存芯片的需求也上了一个台阶，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，只是买了研究用，销量也就6-7台而已。所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。全年销量预计达到63台。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，随着先进工艺的需求快速增长，台积电的购买量是UBS估计的，前几年的销量都不算高，再加上内存芯片爆发的29台，就算到了今年明年，这两年又回到了40台上下。因此未来这种光刻机的销量变数很多，再加上SK海力士的3台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，全年销量将达到95台。UBS的数据参考下就行。Intel等公司的产能是否旺盛，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，3、主要面向2nm及以下工艺，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，三星及Intel预计会分别购买5、成本翻倍，增量也主要来自台积电及SK海力士，2020年才超过30台，NA提升到了0.55，台积电、Intel也有4台，台积电今年购买26台，2台，这方面还是比较谨慎。23年就购买了一台用于研究，其销量也会在未来几年迎来爆发，

这种超级EUV的首发客户是Intel，